[实用新型]基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置

摘要

本实用新型涉及一种基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置，基于反射式达曼光栅的衍射分光特性，将经过准直扩束、光束整形的单束激光分成振幅强度相同的多束相干光，再经过反射镜反射后，将多束相干光会聚到待加工材料表面干涉，得到干涉激光条纹从而加工出周期性平行沟槽微纳结构，沟槽的间距可通过改变反射镜的角度与位置进行调整，加工出周期可控的微纳结构。本实用新型比传统的分光装置操作简单，而且固定稳定可靠，在多光束干涉时优势更加明显、且分光后的反射镜都是对称的便于加工周期的变换和调整。

主权项

一种基于反射式达曼光栅分束的激光干涉微纳加工装置，该装置包括激光器(1)、准直扩束系统(2)、光束整形器(3)、反射式达曼光栅(4)、第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)，第一滑道(9)、第二滑道(10)，第一相位调制器(11)、第二相位调制器(12)，待加工材料(13)，其特征在于：基于反射式达曼光栅的分光特性，使用反射式达曼光栅(4)将经过准直扩束系统(2)、光束整形器(3)的单束激光分成强度相同的多束相干光，再经过第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第三反射镜(7)、第四反射镜(8)、第一相位调制器(11)、第二相位调制器(12)，将多束相干光会合于待加工材料表面形成微纳结构。