[实用新型]匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构

摘要

本实用新型公开了一种匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，包括设置在刻蚀槽槽体上用于封闭所述槽体的槽盖，该槽盖包括相互连接且与水平面成一定角度倾斜设置的第一盖板和第二盖板、以及连接在所述第一盖板和第二盖板两端的两侧板，该侧板、第一盖板、第二盖板构成三棱柱状空间；所述第一盖板和第二盖板上分别设有抽风盒，该抽风盒的上方设有至少一个与外部抽风管道相连通的抽风管接头，该抽风盒的底部与所述槽体内部相连通。该槽盖结构中槽盖坡角方向顺着硅片行进方向，且抽风盒设置在表面平整的槽盖上，大大减低了槽盖对气流的影响，不会对气流产生扰动，即可保障硅片表面氧化均匀。

主权项

一种匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，其特征在于：包括设置在刻蚀槽槽体上用于封闭所述槽体的槽盖(1)，该槽盖(1)包括相互连接且与水平面成一定角度倾斜设置的第一盖板(2)和第二盖板(3)、以及连接在所述第一盖板(2)和第二盖板(3)两端的两侧板(4)，该侧板(4)、第一盖板(2)、第二盖板(3)构成三棱柱状空间；所述第一盖板(2)和第二盖板(3)上分别设有抽风盒(5)，该抽风盒(5)的上方设有至少一个与外部抽风管道相连通的抽风管接头(6)，该抽风盒(5)的底部与所述槽体内部相连通。