[实用新型]匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构

摘要

本实用新型公开了一种匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，包括由顶板和四面侧板组成的用于封闭槽体的箱型槽盖，该箱型槽盖的顶板上设有两个与外部抽风管道相连通的抽风管接头，该箱型槽盖的内腔中设有均布有若干个抽风孔的匀流板，该匀流板与箱型槽盖的顶板之间垂直设有冷凝板。该抽风盖板结构利用匀流板实现从两侧功能槽均匀抽风，有效避免串槽，还利用冷凝板和匀流板提高抽风效率，使箱型槽盖下部气流更加均匀。

主权项

一种匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，其特征在于：包括由顶板和四面侧板组成的用于封闭槽体的箱型槽盖(1)，该箱型槽盖(1)的顶板上设有两个与外部抽风管道相连通的抽风管接头(2)，该箱型槽盖的内腔中设有均布有若干个抽风孔(3)的匀流板(4)，该匀流板(4)与箱型槽盖的顶板之间垂直设有冷凝板(5)。