[实用新型]晶圆背面刷胶装置及其夹具

摘要

本实用新型是关于晶圆背面刷胶装置及其夹具。根据本实用新型的一实施例的晶圆背面刷胶装置包含经配置以具有真空吸附区域的真空吸盘、设置于该真空吸盘上的夹具及刷胶网。夹具经配置以进一步包含上定位部、收容槽及下定位部。收容槽至少贯穿上定位部的相对的第一上表面及第一下表面。下定位部具有贯穿其相对的第二上表面至第二下表面的若干真空孔。该若干真空孔经配置以与真空吸附区域相通以将待刷胶的晶圆真空吸附于收容槽中。刷胶网经配置以具有刷胶孔，且经配置以当刷胶作业时刷胶孔与收容槽对准以将待刷胶的晶圆暴露于刷胶孔。本实用新型可使晶圆的背面可完全涂满胶而避免其边缘在切割时出现飞晶问题。

主权项

一种晶圆背面刷胶装置，其特征在于其包含：真空吸盘，经配置以具有真空吸附区域；夹具，经配置以设置于所述真空吸盘上，所述夹具进一步包含：上定位部，具有：第一上表面；以及第一下表面，其与该第一上表面相对；收容槽，其至少贯穿该第一上表面至该第一下表面；以及下定位部，具有：第二上表面；第二下表面，其与该第二上表面相对；以及若干真空孔，贯穿该第二上表面至该第二下表面，且经配置以与所述真空吸附区域相通以将待刷胶的晶圆真空吸附于所述收容槽中；以及刷胶网，其经配置以具有刷胶孔，且经配置以当刷胶作业时所述刷胶孔与所述收容槽对准以将所述待刷胶的晶圆暴露于所述刷胶孔。