[实用新型]匹配链式扩散的防滴液刻蚀槽盖结构

摘要

本实用新型公开了一种匹配链式扩散的防滴液刻蚀槽盖结构，包括由位于顶面的波纹板和位于四面的侧板组成的用于封闭槽体的单面开口槽盖，所述波纹板的波谷内壁下方设有用于收集滴液的凹槽板，在所述侧板靠近槽盖开口处设有回字形储液槽，该回字形储液槽上连接有与外部污水处理设备相连通的排液管。该槽盖结构取消了现有技术中采用海绵等耗材吸收滴液的方式，采用波纹板和凹槽板相结合的设计有效收集滴液，收集到的滴液从凹槽板上溢出顺着槽壁流入回字形储液槽中，再经由排液管排出槽体外，避免滴液滴落在槽体内的硅片上，同时也可避免耗材掉落至槽体引起的电性能降低。

主权项

一种匹配链式扩散的防滴液刻蚀槽盖结构，其特征在于：包括由位于顶面的波纹板(1)和位于四面的侧板(2)组成的用于封闭槽体的单面开口槽盖(3)，所述波纹板(1)的波谷内壁下方设有用于收集滴液的凹槽板(4)，在所述侧板(2)靠近槽盖(3)开口处设有回字形储液槽(5)，该回字形储液槽(5)上连接有与外部污水处理设备相连通的排液管(6)。