[实用新型]一种硅料生产用坩埚及其单晶硅拉制系统有效
| 申请号： | 201720162939.7 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN206457555U | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 程云刚 | 申请（专利权）人： | 香港金马能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 中国香港旺角烟厂街*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅料生产用坩埚及其单晶硅拉制系统，涉及硅材料制造技术领域，硅料生产用坩埚包括石英坩埚、两个以上的分隔板；所述石英坩埚内设置有用于容纳硅料的容纳空间；两个以上的所述分隔板将所述容纳空间分隔为3个以上的分腔室；多个所述分腔室由所述容纳空间的一端向另一端依次并排设置；所述分隔板的下部设置用于连通相邻两个所述分腔室的通孔。本实用新型结构简单，使用方便，很好地解决了拉制单晶硅时熔融硅的表面温度扰动的问题，拉制单晶棒时温度变化微小，可以拉制重量较大的大尺寸硅棒，拉制后的硅棒质量更优。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 坩埚 及其 单晶硅 拉制 系统 | ||
【主权项】：
一种硅料生产用坩埚，其特征在于，包括石英坩埚、两个以上的分隔板；所述石英坩埚内设置有用于容纳硅料的容纳空间；两个以上的所述分隔板将所述容纳空间分隔为3个以上的分腔室；多个所述分腔室由所述容纳空间的一端向另一端依次并排设置；所述分隔板的下部设置用于连通相邻两个所述分腔室的通孔。
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