[实用新型]一种应用在扫描电镜上面的托盘夹具有效
| 申请号： | 201720170304.1 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN206727057U | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 王世伟 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 610029 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种应用在扫描电镜上面的托盘夹具，通过制作一个直径200mm金属托盘，用专用镊子把150mm晶圆放置在托盘凹槽内，晶圆凹口对准托盘凹槽内的与之对应的凸点，放好以后，把托盘放到标准的200mm晶舟内，通过机台机械手臂抓取托盘连同晶圆一起进入机台腔体以内，这样机台就可以识别这样的晶圆，使用现有的只接受200mm规格晶圆的机台来生产量测150mm尺寸的晶圆，此种设计不改变机台现有结构，对机台零伤害，实现简单，成本低，并且可以同时兼容200mm与150mm的晶圆，提高了机台的实用性与多功能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 扫描电镜 上面 托盘 夹具 | ||
【主权项】：
一种应用在扫描电镜上面的托盘夹具，其特征在于，所述托盘夹具为直径为200mm的圆盘，圆盘中间同心设置150mm的凹槽，凹槽深度小于托盘厚度，其内部设置圆形橡胶垫片；所述托盘夹具顶部设置有凹口，所述凹槽顶部内壁上与凹口匹配位置设置有凸点，底部内壁上设置向外设置有矩形框，所述凹口内顶点与矩形框中心位置位于同一直径上。
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