[实用新型]一种石英晶片镀膜治具

摘要

本实用新型公开了一种石英晶片镀膜治具，属于镀膜夹具技术领域，包括两块工作板，于两块工作板之间从上至下依次贴合有上电极板、中心垫板和下电极板；每块工作板上分别包括多个磁铁工位和多个晶片工位，于每个磁铁工位处分别安装磁铁，两块工作板通过磁铁相互吸引；中心垫板上开设多个晶片开槽，晶片开槽与晶片工位一一对应；上、下电极板上均开设有多个与晶片工位对应的电极开槽，上电极板、中心垫板、下电极板上相对于磁铁工位的位置镂空。上述技术方案的有益效果是治具的各层之间使用磁铁固定代替螺栓固定，可避免治具变形，延长治具的使用寿命；减少镀膜过程中拧螺丝和卸螺丝的工序，降低操作难度，减少工作强度，提高工作效率。

主权项

一种石英晶片镀膜治具，其特征在于，包括两块工作板，于两块所述工作板之间从上至下依次贴合有上电极板、中心垫板和下电极板；每块所述工作板上分别包括多个磁铁工位和多个晶片工位，于每个所述磁铁工位处分别安装磁铁；两块所述工作板上的所述磁铁工位两两相对设置，两块所述工作板通过所述磁铁相互吸引；两块所述工作板上的所述晶片工位两两相对设置；所述中心垫板上开设有多个晶片开槽，所述晶片开槽与所述晶片工位一一对应；所述上电极板上设置有多个第一电极开槽，所述第一电极开槽与所述晶片工位一一对应；所述下电极板上设置有多个第二电极开槽，所述第二电极开槽与所述晶片工位一一对应；所述上电极板、中心垫板以及下电极板上相对于所述磁铁工位的位置均为镂空结构。