[实用新型]自热效应检测结构有效
| 申请号： | 201720174214.X | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN206774540U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 周飞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/58 | 分类号： | H01L23/58 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自热效应检测结构，所述自热效应测试结构包括一基底；至少两个形成于所述基底上的鳍单元，每个所述鳍单元包括至少一个鳍结构；至少两个形成于所述基底上的第一电极区，每个所述第一电极区横跨一个所述鳍单元中的至少一个鳍结构。这样，通过控制至少一个第一电极区的电压，然后，通过检测比较至少一个第一电极区的I‑V曲线的变化情况，即可知晓器件中的自热效应，能够敏感、有效的反映自热效应情况，以便技术人员及时发现和分析自热效应的影响，及时作出相应的改善措施，提高器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 热效应 检测 结构 | ||
【主权项】：
一种自热效应检测结构，其特征在于，包括：一基底；至少两个形成于所述基底上的鳍单元，每个所述鳍单元包括至少一个鳍结构；至少两个形成于所述基底上的第一电极区，每个所述第一电极区横跨一个所述鳍单元中的至少一个鳍结构；以及至少一检测端和至少一被检测端，至少一个所述第一电极区作为所述检测端，至少一个所述第一电极区作为所述被检测端，所述检测端的第一电极区与所述被检测端的第一电极区交替排列。
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