[实用新型]玻璃基板制程用通风口挡板调整装置及挡板控制系统有效
申请号: | 201720186045.1 | 申请日: | 2017-02-28 |
公开(公告)号: | CN206474967U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 吴军;王展;吴宏斌;沈先良;严雷;杨勇;何鹏珍 | 申请(专利权)人: | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B23Q11/00 | 分类号: | B23Q11/00 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 陈庆超,桑传标 |
地址: | 450016 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本公开涉及一种玻璃基板制程用通风口挡板调整装置及挡板控制系统,其中,玻璃基板制程用通风口挡板调整装置包括可滑动地覆盖在所述通风口(1)上的挡板(2)和用于驱动所述挡板(2)沿直线方向截止或导通所述通风口(1)的驱动机构。通过上述技术方案,在玻璃基板制程中,当区域间尤其是通风口或者排气孔洞的压差出现波动需要调整时,通过驱动机构驱动挡板沿直线方向打开或者关闭通风口以实现通风口面积大小的调整,进而起到稳定区域间压差的作用,有效的稳定工艺生产,高效地完成玻璃基板的制程。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 基板制程用 通风口 挡板 调整 装置 控制系统 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板制程用通风口挡板调整装置,其特征在于,包括可滑动地覆盖在所述通风口(1)上的挡板(2)和用于驱动所述挡板(2)沿直线方向截止或导通所述通风口(1)的驱动机构。
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