[实用新型]膜厚检测装置

摘要

本实用新型公开了一种膜厚检测装置。其中，该装置包括公共电极，检测电极，公共电极电压产生电路，检测电极信号处理电路，第一公共面与第一检测表面之间形成待测膜的检测通道，其中，公共电极电压产生电路，用于在公共电极上产生电压，使得检测电极上感应出有效信号电压；检测电极信号处理电路包括复位电压时序控制电路，检测电极有效信号电压转送时序控制电路和差分放大器，其中，复位电压时序控制电路，用于控制检测电极进行电压复位；检测电极有效信号电压转送时序控制电路，用于转送检测电极上的有效信号电压；差分放大器，用于对检测电极上的复位电压和有效信号电压进行差分放大后输出用于检测待测膜的有效信号。

主权项

一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：公共电极，检测电极，公共电极电压产生电路，检测电极信号处理电路，所述公共电极与所述检测电极在第一方向上相对且间隔设置，所述公共电极的第一公共面与所述检测电极的第一检测表面相对，所述第一公共面与所述第一检测表面之间形成待测膜的检测通道，其中，公共电极电压产生电路，用于在所述公共电极上产生电压，使得所述检测电极上感应出有效信号电压；检测电极信号处理电路包括：复位电压时序控制电路，检测电极有效信号电压转送时序控制电路和差分放大器，其中，所述复位电压时序控制电路，用于控制所述检测电极进行电压复位；所述检测电极有效信号电压转送时序控制电路，用于转送所述检测电极上的有效信号电压；所述差分放大器，用于对所述检测电极上的复位电压和所述有效信号电压进行差分放大后输出用于检测所述待测膜的有效信号。