[实用新型]一种探针的保护系统有效
| 申请号： | 201720191213.6 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN206557253U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 陆海;姜方友;何栩明;陈飞;詹冰冰 | 申请（专利权）人： | 华越微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所(普通合伙)33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种探针的保护系统，属于半导体测试技术领域。包括探针台和保护气体发生装置，保护气体发生装置通过输送管道将保护气体输送至探针台上的探针测试端，在输送管道上安装有电磁阀，电磁阀的电源线连接外部电源，电磁阀的信号线连接探针台上测试吸盘的真空信号输出端。本实用新型采用电磁阀自动控制保护气体的通断，利用探针台上测试吸盘的真空信号作为电磁阀的开关信号输入，可以实现探针测试与保护气体输送开关的同步控制，既达到了有效保护探针防止氧化的目的，又避免了保护气体的浪费，使测试成本可以进一步降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 保护 系统 | ||
【主权项】：
一种探针的保护系统，其特征在于：包括探针台和保护气体发生装置，保护气体发生装置通过输送管道将保护气体输送至探针台上的探针测试端，在输送管道上安装有电磁阀，电磁阀的电源线连接外部电源，电磁阀的信号线连接探针台上测试吸盘的真空信号输出端。
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