[实用新型]改进型多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种改进型多晶硅铸锭炉，属于多晶硅生产设备技术领域，解决了传统多晶硅铸锭炉结构设计不合理，热场结构不完善，硅锭质量无法得到保证的问题。主要包括炉体、保温隔热笼、坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器以及进气管、热交换平台，坩埚的底部呈波浪型，热交换平台底部中间位置处设有截面呈三角形状的三角槽体。本实用新型使得硅锭质量大幅度提高，为企业带来可观经济效益和社会效益；改进成本低，实现容易，实用性强，可广泛应用硅锭制造商。

主权项

一种改进型多晶硅铸锭炉，其包括炉体(1)、设置在炉体(1)上的抽气孔(2)、设置在所述炉体(1)内的带有升降杆(3)的保温隔热笼(4)，所述保温隔热笼(4)内设置有坩埚(5)、带有尾气排放孔(6)的坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)以及进气管(12)，所述石墨底板(8)放置在热交换平台(13)上，所述坩埚(5)放置在所述石墨底板(8)上，所述坩埚护板(7)设置在坩埚(5)外侧，所述侧部加热器(10)设置在所述坩埚护板(7)外侧，所述石墨盖板(9)设置在所述坩埚(5)上方，所述顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方，其特征在于：所述坩埚(5)的底部呈波浪型，即其底部设有若干截面呈弧形状的条型凹槽(14)，且相邻条形凹槽(14)无间距依次等齐排列；所述热交换平台(13)底部中间位置处设有截面呈三角形状的三角槽体(15)，所述三角槽体(15)两底角边缘相隔间距与所述坩埚(5)底部宽度等宽，所述三角槽体(15)的长度与所述条形凹槽(14)的长度等长，所述热交换平台(13)经石墨立柱(16)固定在所述炉体(1)底部。