[实用新型]一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201720194117.7 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN206467283U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 罗程远 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备。该真空蒸发源装置包括至少一个蒸发源，其中，每个蒸发源设置有至少一个蒸镀开口，每个蒸镀开口处层叠设置有第一盖板和第二盖板，所述第一盖板上设置有贯穿其厚度的至少一个第一过孔，所述第二盖板上设置有与每个第一过孔一一对应的第二过孔；所述第一盖板和/或第二盖板能够转动，以实现对每对相互对应的第一过孔和第二过孔的重合面积的调节。该真空蒸发源装置能够减小不同位置处的蒸镀速率的差异，提高薄膜厚度的均匀性，提高显示屏内电学及光学均匀性，进而提高显示屏的显示性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸发 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种真空蒸发源装置，包括至少一个蒸发源，其中，每个蒸发源设置有至少一个蒸镀开口，其特征在于，每个蒸镀开口处层叠设置有第一盖板和第二盖板，所述第一盖板上设置有贯穿其厚度的至少一个第一过孔，所述第二盖板上设置有与每个第一过孔一一对应的第二过孔；所述第一盖板和/或第二盖板能够转动，以实现对每对相互对应的第一过孔和第二过孔的重合面积的调节。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720194117.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：LED显示屏的镀膜治具
- 下一篇：一种改进的磁控溅射镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
