[实用新型]一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座。本实用新型的设计机构能使得晶圆搬送机上能自动的进行卡匣的升降、检测晶片的存在数量和其存在的层数，方便机械手对某一层晶片进行提取和放回，效率较高，而且精确度较高。

主权项

一种晶圆搬送机的晶圆卡匣装置，其特征在于：所述晶圆卡匣装置包括用于放置晶圆的卡匣载台(1)、用于控制卡匣载台升降的升降轴传动装置(2)和用于安装升降轴传动装置的升降轴固定座(3)，其中：所述升降轴传动装置(2)包括用于提供卡匣载台升降的滑行导轨(4)、用于控制卡匣载台升降的丝杆(5)和用于控制丝杆转动的伺服电机，所述伺服电机的主轴和丝杆一端均设有相同的同步皮带轮(6)，并通过同步带(7)连接；升降轴固定座(3)背面安装有伺服电机安装板(20)，升降轴固定座正面设有用于固定滑行导轨(4)的安装孔、滑行道轨的限位块(8)和丝杆安装座(9)，升降轴侧面分别设有延伸支架(10)，延伸支架上分别设有光纤传感器(11)；所述卡匣载台(1)分为卡匣工作面(19)和卡匣安装面(12)，所述卡匣工作面设有针对卡匣的安装槽位(13)，所述卡匣安装面设有与滑行道轨匹配的导轨座(14)。