[实用新型]一种真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统

摘要

本实用新型公开了一种真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统，包括照相室、照相室底板、安装箱、电子束发射室和真空室，所述照相室底板的底部安装有照相室，所述照相室底部的一侧安装有第二透光镜，所述照相室底板的上方安装有真空室，所述真空室和第二透光镜中间位置处的照相室底板上安装有真空隔离装置，且真空隔离装置上安装有铅玻璃，所述铅玻璃的上方固定有荧光屏，所述荧光屏的底部设置有射铝膜层。本实用新型安装有真空隔离装置，且真空隔离装置的中间位置处安装有一块带增透膜的铅玻璃，用以封闭真空系统，同时屏蔽了电子束轰击产生的射线。

主权项

一种真空系统隔离的透射电子显微镜数字成像系统，包括照相室(1)、照相室底板(3)、安装箱(6)、电子束发射室(7)和真空室(15)，其特征在于：所述照相室底板(3)的底部安装有照相室(1)，所述照相室(1)底部的一侧安装有第二透光镜(18)，所述照相室底板(3)的上方安装有真空室(15)，所述真空室(15)和第二透光镜(18)中间位置处的照相室底板(3)上安装有真空隔离装置(2)，且真空隔离装置(2)上安装有铅玻璃(17)，所述铅玻璃(17)的上方固定有荧光屏(16)，所述荧光屏(16)的底部设置有射铝膜层(21)，且射铝膜层(21)的上方设置有透明基底层(20)，所述透明基底层(20)的上方安装有荧光粉层(19)，所述真空室(15)的一侧设置有观测窗(4)，且观测窗(4)与水平面的夹角为45°，所述真空室(15)的上方安装有投影镜(13)，所述投影镜(13)和真空室(15)连接处的中间位置处安装有第一透光镜(14)，所述安装箱(6)靠近观测窗(4)的一侧通过支架安装有目镜(5)，且目镜(5)与观测窗(4)所在平面垂直，所述投影镜(13)内部的底端安装有投影镜(13)，且投影镜(13)上方的安装箱(6)内安装有中间镜(12)，所述中间镜(12)上方的安装箱(6)内安装有物镜(11)，所述安装箱(6)上方安装有电子束发射室(7)，所述电子束发射室(7)顶端的中间位置处安装有电子枪(8)。