[实用新型]晶体炉的真空与排气管路结构有效
| 申请号： | 201720209488.8 | 申请日： | 2017-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN206570434U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 曾炟;赵彦乐;黄小华;陈龙;邱萍;仇春杰 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 胡小龙 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体炉的真空与排气管路结构，包括真空管路、排气管路、进气口、真空及排气管路三通件、真空保护阀、排气保护阀，进气口设置在真空及排气管路三通件的前端，真空保护阀设置在真空管路的前端，真空及排气管路三通件安装在真空保护阀的前端，排气保护阀设置在排气管路的前端，排气保护阀的前端与真空及排气管路三通件连接；通过本技术方案，便于按照晶体炉工艺需求进行正压排气操作和负压抽真空操作，且可有效避免管路部件因高温、振动造成的损毁，从而确保晶体炉整个长晶过程的顺利进行，真空与排气管路结构简洁紧凑，方便拆卸及维护。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 真空 排气 管路 结构 | ||
【主权项】：
一种晶体炉的真空与排气管路结构，包括真空管路，其特征在于，包括进气口、排气管路、真空及排气管路三通件、真空保护阀、排气保护阀，所述进气口设置在所述真空及排气管路三通件的前端上，所述真空保护阀设置在所述真空管路的前端，所述真空及排气管路三通件安装在所述真空保护阀的前端上，所述排气保护阀设置在所述排气管路的前端，所述排气保护阀的前端与所述真空及排气管路三通件连接。
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