[实用新型]一种薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 201720215265.2 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN206658185U | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;陈海龙 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提出了一种采用键合方式实现的基于压电单晶材料的薄膜体声波谐振器及滤波器。具体地，本实用新型提出的薄膜体声波谐振器，包括基片及形成在所述基片上的空气隙、覆盖在所述空气隙上方的压电三明治结构，所述压电三明治结构包括依次堆叠的第一电极、压电层、第二电极；其中，所述压电层为压电单晶，所述第一电极介于所述压电单晶的第一表面与所述基片之间，所述第二电极位于所述压电单晶的第二表面。采用本实用新型的方案，由于压电单晶材料的性能与电极材料和形状无关，可以有效避免既有缺陷，增加了器件设计的灵活度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
一种薄膜体声波谐振器，包括基片及形成在所述基片上的空气隙、覆盖在所述空气隙上方的压电三明治结构，所述压电三明治结构包括依次堆叠的第一电极、压电层、第二电极；其中，所述压电层为压电单晶，所述第一电极介于所述压电单晶的第一表面与所述基片之间，所述第二电极位于所述压电单晶的第二表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州左蓝微电子技术有限公司，未经杭州左蓝微电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720215265.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种适用于输入信号进行连续、实时可调的功率放大器
- 下一篇：光学成像镜头
