[实用新型]一种具有高效率的扩膜机有效
| 申请号： | 201720215462.4 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN206524310U | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 宋干 | 申请（专利权）人： | 广东技标实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司11429 | 代理人： | 袁艳君 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有高效率的扩膜机，包括顶部气缸组件，顶部气缸组件底部的一侧固定连接有固定座，顶部气缸组件的底部固定连接有上撑盘，固定座的底部固定连接有支架，支架的内部固定连接有支撑板，支撑板的上表面固定连接有底部气缸组件，底部气缸组件的两侧均通过固定板与支架的内侧壁固定连接，支架上表面的中部开设有缺口，底部气缸组件的顶端穿过支架上表面的缺口且延伸至支架的上侧。本实用新型通过在支架的内部设置电加热板，能够保证设备的恒温效果，可以避免温度的大幅度变化导致影响晶粒的扩张，并且通过适当的升温可以提高晶粒的延展性，有利于扩模的进行，能够节省时间，操作比较简单，有利于增加产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高效率 扩膜机 | ||
【主权项】：
一种具有高效率的扩膜机，包括顶部气缸组件(1)，其特征在于：所述顶部气缸组件(1)底部的一侧固定连接有固定座(7)，所述顶部气缸组件(1)的底部固定连接有上撑盘(2)，所述固定座(7)的底部固定连接有支架(6)，所述支架(6)的内部固定连接有支撑板(9)，所述支撑板(9)的上表面固定连接有底部气缸组件(4)，所述底部气缸组件(4)的两侧均通过固定板(8)与支架(6)的内侧壁固定连接，所述支架(6)上表面的中部开设有缺口，所述底部气缸组件(4)的顶端穿过支架(6)上表面的缺口且延伸至支架(6)的上侧，所述底部气缸组件(4)的顶部固定连接有下撑盘(3)，所述下撑盘(3)位于上撑盘(2)的正下方，所述支架(6)的一侧固定连接有单片机(12)；所述单片机(12)的输入端分别与故障检测模块(13)和电源模块(14)的输出端电连接，所述单片机(12)的输出端电连接有紧急制动系统(15)的输入端，所述单片机(12)的输出端分别电连接有顶部气缸组件(1)、底部气缸组件(4)、电加热板(10)和报警模块(16)的输入端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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