[实用新型]一种高精度真空腔体直线导向运动装置

摘要

本实用新型的一种高精度真空腔体直线导向运动装置，包括密封腔体、直线轴承、导向轴、内腔体部件、导向轴固定螺丝、密封罩、密封胶层、密封罩固定螺丝和轴承固定螺丝。本实用新型的密封罩通过密封罩固定螺丝实现与密封腔体固定安装，而密封罩与密封腔体的接触处还设置有密封胶层来确保密封罩与密封腔体内的密封性好，所述密封腔体的中部设置有直线轴承，垂直贯穿直线轴承的中心设置有与内腔体部件固定连接的导向轴，使导向轴在密封罩和密封腔体处于真空的状态下，由电机为导向轴提供动力，使内腔体部件在导向轴的驱动下实现能在有限的真空密封空间内直接压紧物体进行直线运动，其真空密封效果好，使贴合机的贴合效果好，贴合精准度高，效率高。

主权项

一种高精度真空腔体直线导向运动装置，其特征在于：包括密封腔体，所述密封腔体中部设置有具有导向功能的直线轴承，垂直贯穿于所述直线轴承的中部安装有起导向作用的导向轴，所述密封腔体的下方设置有内腔体部件，所述导向轴的下端与内腔体部件中部连接设置有用于固定导向轴的导向轴固定螺丝，所述密封腔体的顶部上设置有密封罩，所述导向轴的上端安装在密封罩内，所述密封罩与密封腔体的连接处设置有密封胶层，所述密封罩下端的边缘设置有用于压紧密封胶层、并将密封罩固定安装在密封腔体上面的密封罩固定螺丝。