[实用新型]全自动硅片清洗线

摘要

本实用新型涉及一种全自动硅片清洗线，本全自动硅片清洗线包括插片段、清洗段、烘干段；其中所述插片段适于将层叠硅片逐片插入花篮中，并将满载花篮送至清洗段进行清洗，且在清洗完毕后送至烘干段进行烘干；通过对实际生产厂商的工艺需求加以自动化集成，插片环节全自动化，插片后右搬运机械手将花篮放入清洗设备清洗，清洗后由搬运机械手将花篮放入通过式烘箱烘干，再由五轴机械手机构将花篮加载到分选设备(后续设备)的上料处；自动化生产降低了硅片在周转过程中的损耗，节约了在清洗环节的周转时间，提高了设备的单日产能降低生产厂家的生产成本。

主权项

一种全自动硅片清洗线，其特征在于，包括：插片段、清洗段、烘干段；其中所述插片段适于将层叠硅片逐片插入花篮中，并将满载花篮送至清洗段进行清洗，且在清洗完毕后送至烘干段进行烘干。