[实用新型]大面积钙钛矿薄膜的制备设备

摘要

本实用新型涉及一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，包括真空腔，真空腔内设置有用于放置衬底的衬底加热器；衬底加热器的下方真空腔内设置有第一蒸发壳和第二蒸发壳，第一蒸发壳套嵌在第二蒸发壳的上端，第一蒸发器和衬底加热器之间设置有挡板；第一蒸发壳的底部设置有第一加热器，第一蒸发壳连接有第一载气管道，第一载气管道与外部的载气气源连通；第二蒸发壳的底部设置有第二加热器，第二蒸发壳连接有第二载气管道，第二载气管道与外部的载气气源连通。本实用新型的大面积钙钛矿薄膜的设备，通过载气经由喷头将反应物种喷至衬底上，反应形成钙钛矿薄膜，大大提高了钙钛矿薄膜大面积沉积均匀性。

主权项

一种大面积钙钛矿薄膜的制备设备，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）内设置有用于放置衬底的衬底加热器（2）；所述衬底加热器（2）的下方真空腔（1）内设置有第一蒸发壳（3）和第二蒸发壳（4），所述第一蒸发壳（3）的上端呈开口状，所述第二蒸发壳（4）的上端面竖直设置有多根气管（42），所述第一蒸发壳（3）套嵌在第二蒸发壳（4）的上端，各气管（42）的上端从第一蒸发壳（3）的底面穿过后伸出第一蒸发壳（3）；所述第一蒸发器和衬底加热器（2）之间设置有可做开合运动的挡板（7）；所述第一蒸发壳（3）的底部设置有用于对第一蒸发壳（3）底面进行加热的第一加热器（5），所述第一蒸发壳（3）连接有第一载气管道（31），所述第一载气管道（31）与外部的载气气源连通；所述第二蒸发壳（4）的底部设置有用于对第二蒸发壳（4）底面进行加热的第二加热器（6），所述第二蒸发壳（4）连接有第二载气管道（41），所述第二载气管道（41）与外部的载气气源连通。