[实用新型]多晶硅还原炉电极有效
申请号: | 201720230226.X | 申请日: | 2017-03-10 |
公开(公告)号: | CN206955649U | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 罗文富;黄国良;罗传熙 | 申请(专利权)人: | 厦门佰事兴新材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司35218 | 代理人: | 梅爱惠 |
地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开一种多晶硅还原炉电极,其包括能与石墨座锥孔配合的锥头,及中心设置有水冷空腔的电极体,所述电极体周围穿套有绝缘套筒且电极体与锥头固定相连,其中电极体与锥头对接相连的一段为连接段;该连接段与锥头外表面均设置有粗化层,所述连接段与锥头粗化层上分别喷涂有结合层,结合层的外表面设置有外涂层。本实用新型中所述电极体与锥头一体相连,且电极体与锥头相连的一段为连接段,该连接段与锥头外表面均经过喷砂或抛丸形成粗化层,而连接段与锥头的粗化层上还喷涂有结合层,该结合层上设置有外涂层。本实用新型具有表面硬度高,光洁度高级涂层不易损坏等优点,从而达到电极不易受损等优点。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 电极 | ||
【主权项】:
多晶硅还原炉电极,其特征在于:其包括能与石墨座锥孔配合的锥头,及中心设置有水冷空腔的电极体,所述电极体周围穿套有绝缘套筒且其与锥头固定相连,其中电极体与锥头对接相连的一段为连接段;该连接段与锥头外表面均设置有粗化层,所述连接段与锥头粗化层上分别喷涂有结合层,结合层的外表面设置有外涂层,所述外涂层包括第一外涂层及第二外涂层;其中,所述第一外涂层为锥头外围设置导体层,第二外涂层为连接段外围设置由纯陶瓷粉末制成的绝缘层。
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