[实用新型]一种用于制作太阳能电池片的扩散炉有效
| 申请号： | 201720234530.1 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN206666682U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王文杰;董智勇;方绿萍;徐明川 | 申请（专利权）人： | 浙江龙柏光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/08 | 分类号： | C30B31/08;C30B31/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州知通专利代理事务所(普通合伙)33221 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 312300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体，所述炉体内腔分别与一个进气管和出气管相连通，所述出气管与一台真空泵相连通，所述炉体的运料口具有一个真空密封门。采用了本实用新型的扩散炉，在通入工艺气体后，再通过真空泵把炉体内部抽成真空状态，从而使得工艺气体和氮气的使用量大大减少，产能大大提高，同时产品质量还得到了有效的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制作 太阳能电池 扩散 | ||
【主权项】：
一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体(1)，所述炉体(1)内腔分别与一个进气管(2)和出气管(3)相连通，其特征在于所述出气管(3)与一台真空泵(4)相连通，所述炉体(1)的运料口具有一个真空密封门(5)。
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