[实用新型]基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器有效
| 申请号： | 201720234569.3 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN206670783U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 徐方良;穆继亮;丑修建;石树正;胡磊;张辉;何剑;耿文平;侯晓娟;薛晨阳;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H3/12 | 分类号： | G01H3/12;G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司11407 | 代理人： | 彭丽芳 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。本实用新型是具有共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的同振型球形振子矢量水听器；采用微纳加工技术，实现了球形振子矢量水听器的微型化。并将信号采集模块布置于连接球形振子的四根横梁上，可检测垂直于横梁方向上的声信号分量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电效应 mems 球形 矢量 水听器 | ||
【主权项】：
基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，所述环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。
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