[实用新型]一种太阳能电池酸制绒喷液装置有效
申请号: | 201720234865.3 | 申请日: | 2017-03-10 |
公开(公告)号: | CN206672903U | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 叶晋;董智勇;方绿萍;吕永根 | 申请(专利权)人: | 浙江龙柏光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州知通专利代理事务所(普通合伙)33221 | 代理人: | 姚宇吉 |
地址: | 312300 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能电池酸制绒喷液装置,包括一个反应槽体,所述反应槽体内设有一条循环传送带,所述传送带的下方设有若干个喷液管,所述喷液管与一个循环泵相连通,所述喷液管的底部设有若干个主喷口,所述喷液管的顶部设有若干个细喷口。由于把主喷口设置到喷液管的底部,大部分高浓度酸液先喷向反应槽体的底部后,再流向反应槽体的顶部,结合细喷口喷出的少量高浓度酸液,使得反应槽体的酸液在被充分搅匀后再与硅片表面反应,同时,反应槽体的酸液在不断的搅动中,使得硅片的每个部分都接受浓度与温度一致的酸液侵蚀,保证了绒面的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 酸制绒喷液 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池酸制绒喷液装置,包括一个反应槽体(1),所述反应槽体(1)内设有一条循环传送带(2),所述传送带(2)的下方设有若干个喷液管(3),所述喷液管(3)与一个循环泵相连通,其特征在于所述喷液管(3)的底部设有若干个主喷口(4),所述喷液管(3)的顶部设有若干个细喷口(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造