[实用新型]一种组合传感器有效
申请号: | 201720239174.2 | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN206590895U | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 徐香菊;端木鲁玉 | 申请(专利权)人: | 歌尔科技有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02;G01D21/02 |
代理公司: | 潍坊正信致远知识产权代理有限公司37255 | 代理人: | 姚金良 |
地址: | 266104 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种组合传感器,包括上下叠放并封装成一体的上盖、多功能MEMS芯片和ASIC芯片,多功能MEMS芯片和ASIC芯片之间通过导线实现电连接,ASIC芯片的下侧设有外接端子。本实用新型的组合传感器各部分以上下设置的方式封装在一起,而且通过导线建立电连接,使其省略了PCB,省略了PCB封装时预留的空间,使整体外形尺寸缩小。因通过ASIC芯片外侧设置了外接端子,使其使用时可通过外接端子与外界连接。外接端子能够将ASIC芯片工作产生的热量导出,使内部的多功能MEMS芯片不受热量的影响,保持稳定、可靠的性能。因此本实用新型的组合传感器具有体积小、性能稳定的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 组合 传感器 | ||
【主权项】:
一种组合传感器,其特征在于,包括上下叠放并封装成一体的上盖、多功能MEMS芯片和ASIC芯片,所述多功能MEMS芯片通过导线与所述ASIC芯片电连接,所述ASIC芯片的外侧设有外接端子,所述多功能MEMS芯片至少包括第一传感器膜片和第二传感器膜片。
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