[实用新型]晶圆盒输送装置

摘要

本实用新型揭示了一种晶圆盒输送装置，包括承载机构、平移机构和输送机构，其中，承载机构用于放置晶圆盒，平移机构用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移，输送机构用于输送平移机构，第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系，通过了承载机构和输送机构结合的方式，直接由输送机构移至开门器前，并通过平移机构将晶圆盒准确的送到开门器上，因此省去了人工或机械搬运晶圆盒之一步骤，提高了效率，降低了成本，且自动化程度高。

主权项

一种晶圆盒输送装置，其特征在于，包括：承载机构，用于放置晶圆盒；平移机构，用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移；输送机构，用于输送平移机构；其中，所述平移机构包括：第一平移机构，用于带动所述承载机构在第一轴方向平移：第二平移机构，用于带动所述承载机构在第二轴方向平移：第三平移机构，用于带动所述承载机构在第三轴方向平移；所述第一轴方向、所述第二轴方向和所述第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系。