[实用新型]一种防止颗粒积累堵塞的联结结构有效
| 申请号： | 201720245874.2 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN206613301U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 唐雄 | 申请（专利权）人： | 上海更日敦科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/02 | 分类号： | B01D47/02;B01D51/00;F16L23/02 |
| 代理公司： | 上海国智知识产权代理事务所(普通合伙)31274 | 代理人： | 潘建玲 |
| 地址： | 201204 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体工艺废气处理领域，提供了一种防止颗粒积累堵塞的联结结构，包括内管和外管，内管的内径小于外管的内径，外管的下部设置有与内管内径相同的圆环，内管与所述圆环连接，外管上设置有涡流发生器，内管上设置有气体降温结构。本实用新型具有能防止颗粒在装置内壁积累、降低处理气体温度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 颗粒 积累 堵塞 联结 结构 | ||
【主权项】：
一种防止颗粒积累堵塞的联结结构，其特征在于，包括内管和外管，所述内管的内径小于所述外管的内径，所述外管的下部设置有与所述内管内径相同的圆环，所述内管与所述圆环连接，所述外管上设置有涡流发生器，所述内管上设置有气体降温结构。
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