[实用新型]一种可拆卸金属爪式石英载片盘

摘要

本实用新型公开了一种可拆卸金属爪式石英载片盘，包括金属环及与金属环一体的四个小金属爪和一个大金属爪，小金属爪和大金属爪均匀分布在金属圆环上，金属环的五个金属爪直接支撑待刻蚀晶片，石英不与待刻蚀晶片直接接触，晶片刻蚀过程中刻蚀反应的离子电浆均匀，使刻蚀晶片表面的均一性得到提升25%以上，同时增加载片盘的耐刻蚀性，提升载片盘寿命。

主权项

一种可拆卸金属爪式石英载片盘，包括金属圆环及与所述金属圆环一体的四个小金属爪、一个大金属爪和石英载片孔，所述金属圆环嵌入石英载片孔中，所述小金属爪和大金属爪沿金属圆环圆周方向均匀分布在金属圆环上，所述小金属爪和大金属爪朝向金属圆环中心凸出于金属圆环，所述金属圆环中间沿圆周方向设置凹槽。