[实用新型]硅片清洗系统有效
| 申请号： | 201720257217.X | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN207086417U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 曹明奇;魏超锋;邓浩;郭江涛 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/14 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的硅片清洗系统，包括分别用于脱胶、插片和清洗工序的硅片脱胶机、插片机和硅片清洗机，其还包括输水管道和节水单元，输水管道将硅片脱胶机、插片机和硅片清洗机连接为一体，节水单元设置于输水管道上，以实现脱胶、插片和清洗工序用水的循环利用。本实用新型的硅片清洗系统消除了硅片制造过程中喷淋脱胶、插片和清洗工序均采用独立供排水系统的缺陷，节约了生产用水，同时降低了废水处理成本及压力。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 系统 | ||
【主权项】：
硅片清洗系统，包括一一对应分别用于脱胶、插片和清洗工序的硅片脱胶机(1)、插片机(2)和硅片清洗机(3)，其特征在于，还包括输水管道和节水单元，所述输水管道将所述硅片脱胶机、插片机和硅片清洗机连接为一体，所述节水单元设置于所述输水管道上，所述节水单元包括沿水循环方向依次设置的储水箱(7)、循环泵(6)以及流量控制阀(5)。
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