[实用新型]一种上电极组件有效
| 申请号： | 201720263136.0 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN207338295U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 李一成;赵隆超;聂淼 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;罗瑞芝 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种上电极组件。该上电极组件，包括设置有上电极的腔体以及用于为所述腔体降温用的冷却装置，其中，所述冷却装置包括冷却介质道以及设置于所述冷却介质道两端的冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却介质道为连续多圈管道式，且围绕所述腔体外表面设置。该上电极组件疏热性能好，并能保证上腔室中间和两端温度均衡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 组件 | ||
【主权项】：
1.一种上电极组件，包括设置有上电极的腔体以及用于为所述腔体降温用的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置包括冷却介质道以及设置于所述冷却介质道两端的冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却介质道为连续多圈管道式，且围绕所述腔体外表面设置。
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