[实用新型]一种用于平面靶材绑定的加热平台有效
| 申请号： | 201720267752.3 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN206616267U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 黄华凛;苗蕾;周建华;刘呈燕;王潇漾;孙耀明;熊斌;张明;黄春明;徐华毕 | 申请（专利权）人： | 广东迪奥应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于平面靶材绑定的加热平台，包括通过铰接的上气室和下气室，所述上气室内设置有硅胶模及电磁放气阀，所述下气室内设置有绑定加热台，所述绑定加热台内均匀布设有若干个加热棒，所述下气室连接有电磁进气阀及真空泵连接口，真空泵通过管道连接到真空泵连接口上。本实用新型通过真空贴合防止铟表面氧化影响贴合效果，有效的防止靶材的脱落；采用柔性硅胶板利用压差加压有利于保护靶材及不易产生贴合错位；超声震动便于铟涂布均匀，真空绑定可以避免气泡的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平面 绑定 加热 平台 | ||
【主权项】：
一种用于平面靶材绑定的加热平台，其特征在于：包括通过铰接的上气室和下气室，所述上气室内设置有硅胶模及电磁放气阀，所述下气室内设置有绑定加热台，所述绑定加热台内均匀布设有若干个加热棒，所述下气室连接有电磁进气阀及真空泵连接口，真空泵通过管道连接到真空泵连接口上。
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