[实用新型]基于单晶硅差压传感器的静力水准仪

摘要

本实用新型具体涉及一种基于单晶硅差压传感器的静力水准仪，包括上外壳、下外壳和膜盒式单晶硅差压传感器，上外壳和下外壳围成封闭的安装腔；安装腔被隔成相互连通的右安装腔和左安装腔；膜盒式单晶硅差压传感器的主体固定安装在右安装腔中，膜盒式单晶硅差压传感器的尾部位于左安装腔中，膜盒式单晶硅差压传感器将右安装腔分隔成互相独立的液腔和气腔，并将左安装腔与右安装腔隔离成互不连通的独立腔室，上外壳的侧壁上开设有与液腔连通的进液口，下外壳的侧壁上开设有与气腔连通的进气口。本实用新型的静力水准仪采用了膜盒式单晶硅差压传感器，整体具有体积小、精度高、易实现微压、长期稳定性好、温度特性优良。

主权项

一种基于单晶硅差压传感器的静力水准仪，包括上外壳(1)、下外壳(2)和膜盒式单晶硅差压传感器(3)，所述上外壳(1)和下外壳(2)通过螺柱固定连接之后围成封闭的安装腔(4)；所述安装腔(4)被所述上外壳(1)内部侧壁上的第一凸起部(6)和所述下外壳(2)内部侧壁上的第二凸起部(7)隔成相互连通的右安装腔(41)和左安装腔(42)，所述第一凸起部(6)和第二凸起部(7)相对设置；所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)的主体(31)固定安装在右安装腔(41)中，所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)的尾部(32)位于所述左安装腔(42)中，所述膜盒式单晶硅差压传感器(3)将右安装腔(41)分隔成互相独立的液腔(43)和气腔(44)，并将所述左安装腔(42)与所述右安装腔(41)隔离成互不连通的独立腔室；所述液腔(43)位于靠近所述上外壳(1)一侧，所述气腔(44)位于靠近所述下外壳(2)一侧；所述上外壳(1)的侧壁上开设有与所述液腔(43)连通的进液口(11)，所述下外壳(2)的侧壁上开设有与所述气腔(44)连通的进气口(21)。