[实用新型]一种曝光机

摘要

本实用新型公开的一种曝光机。该曝光机在现有技术的基础上，改进了曝光机载物平台的结构设计，于原有的载物平台表面与整体温控单元之间设置多个独立的局部温控单元，并增加了一套局部温度监测系统。该改进使得本实用新型所述曝光机具有更灵活的使用方法，更灵敏的温度监测与控制能力，同时解决了现有技术中的平板显示装置生产过程中曝光步骤所采用的曝光机存在对尺寸异常变异无法处理的问题。该曝光机的使用实现了曝光工艺过程中局部尺寸调整，增强该生产环节对产品尺寸异常变异问题的应对能力。且，该曝光机结构简单，便于操作，适用于各种平板显示装置生产过程中曝光的步骤。

主权项

一种曝光机，包括载物平台和温度监测系统；所述载物平台包括载物平台表面、整体温度控制单元和位于所述载物平台表面与所述整体温度控制单元之间的局部温度控制单元；所述温度监测系统包括用于检测并控制所述载物平台表面局部温度状态的局部温度监测系统和用于检测并控制所述载物平台表面整体温度状态的整体温度监测系统。