[实用新型]一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘有效

专利信息
申请号: 201720273467.2 申请日: 2017-03-21
公开(公告)号: CN206998592U 公开(公告)日: 2018-02-13
发明(设计)人: 陆昌程;杨华;蔡金荣 申请(专利权)人: 江苏吉星新材料有限公司
主分类号: B24B37/11 分类号: B24B37/11;B24D3/00;B24D13/14;B24D13/18
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258 代理人: 陈丽君
地址: 212200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘,包括铜盘本体和底座,铜盘本体底部与底座顶部相连,铜盘本体包括若干同心设置的树脂铜环,相邻树脂铜环之间设有间隙,所述间隙顶部宽度d1为2±0.2mm;本实用新型拆卸方便、受温度的变化后盘型形变小,利于降低蓝宝石晶片抛光工艺温度控制难度,保证良率,提高效益。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 晶片 抛光 用快拆式 树脂
【主权项】:
一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘,包括铜盘本体和底座,其特征为,所述铜盘本体底部与底座顶部相连,所述铜盘本体包括若干同心设置的树脂铜环,相邻树脂铜环之间设有间隙,所述间隙顶部宽度d1为2±0.2mm。
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