[实用新型]一种光罩模具有效
| 申请号： | 201720273719.1 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN206618949U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;饶桥兵;李隆东 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 410311 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光罩模具，包括模具主体，所述模具主体包括平面部分和设置于所述平面部分上方的凸面部分，所述凸面部位的尺寸与产品尺寸相符，并且，所述凸面部分远离所述平面部分的表面设有与产品设计方案相配合的图案层。本实用新型所提供的光罩模具，通过在所述模具主体的所述平面部分上设置所述凸面部分，并在所述凸面部分的表面设有图案层，在对产品进行曝光显影工艺时，图案层与产品更加贴合，尺寸更容易控制，该光罩模具在满足产品外观及尺寸前提下，突破传统曝光对光源平行半角需小于3°的限制，有效节约设备、人力投入，提高生产效率，降低了产品的生产成本，并且，该模具结构简单、使用方便、成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模具 | ||
【主权项】：
一种光罩模具，用于3D镜片的曝光显影，包括模具主体，其特征在于，所述模具主体包括平面部分和设置于所述平面部分上方的凸面部分，所述凸面部位的尺寸与产品尺寸相符，并且，所述凸面部分远离所述平面部分的表面设有预设图案层。
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