[实用新型]一种基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统有效

专利信息
申请号: 201720274506.0 申请日: 2017-03-21
公开(公告)号: CN206601102U 公开(公告)日: 2017-10-31
发明(设计)人: 廖景荣;刘景业;徐媛媛 申请(专利权)人: 江苏大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G01B9/02;G01N21/45
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212013 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统,包括光束整形系统、干涉系统和成像系统;所述光束整形系统位于光源光路上,用于放大光束,且产生平行光束;所述干涉系统包括第一全反镜、第二全反镜、BS镜和双Dove镜,所述双Dove镜包括第一Dove镜和第二Dove镜,所述第二Dove镜底面与第一Dove镜底面相向胶合,且底面镀半透半反膜;所述显微物镜位于所述双Dove镜上方,用于放大接收到的所述参考光和物光;所述CCD集成在显微物镜上,用于记录和分析参考光和物光的像。本实用新型通过采用Dove镜分别对样品光与参考光进行分光和合光,结构简单、稳定,易于操作。
搜索关键词: 一种 基于 dove 光学 同轴 干涉 相位 成像 系统
【主权项】:
一种基于双Dove镜下的光学同轴和离轴干涉相位成像系统,其特征在于,包括光束整形系统、干涉系统和成像系统;所述光束整形系统位于光源光路上,用于放大光束,且产生平行光束;所述干涉系统包括第一全反镜(7)、第二全反镜(8)、BS镜(6)和双Dove镜(10),所述双Dove镜(10)包括第一Dove镜(13)和第二Dove镜(14),所述第二Dove镜(14)底面与第一Dove镜(13)底面相向胶合,且底面镀半透半反膜;所述BS镜(6)位于所述光束整形系统产生的平行光束的光路上,将入射的平行光束反射,使反射光束与入射光束夹角为90°,第一全反镜(7)和第二全反镜(8)位于所述BS镜(6)反射光光路上;所述双Dove镜(10)位于第一全反镜(7)和第二全反镜(8)的反射光路上;所述第二全反镜(8)上放置样品(9);所述第一全反镜(7)反射的光束为参考光,所述第二全反镜(8)反射的光束为物光,所述参考光和物光经过BS镜(6)透射到双Dove镜(10);第一全反镜(7)和第二全反镜(8)将参考光和物光合并;所述成像系统包括显微物镜(11)和CCD(12);所述显微物镜(11)位于所述双Dove镜(10)上方,用于放大接收到的所述参考光和物光;所述CCD(12)集成在显微物镜(11)上,用于记录和分析参考光和物光的像。
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