[实用新型]压力平衡的热制程设备

摘要

本实用新型提供一种压力平衡的热制程设备，用以形成高温气密环境以进行热处理，该热制程设备包含气密腔体、载台、多数个具辐射穿透性的管材及多数个加热组件，气密腔体包括一壁体以及二个透光石英板，二个透光石英板隔设于壁体内而分别与壁体形成上均压腔室及下均压腔室，二个透光石英板之间形成制程腔室，供放置热处理目标对象，载台用以载置热处理目标对象，加热组件对应设置于管材的内部，通过管材对热处理目标对象进行热处理，其中壁体具有连通制程腔室及上均压腔室的上通道以及连通制程腔室及下均压腔室的下通道。

主权项

一种压力平衡的热制程设备，用以形成高温气密环境以进行热处理，所述的热制程设备包含：气密腔体，包括一壁体以及二个透光石英板，所述的二个透光石英板隔设于所述的壁体内而分别与所述的壁体形成上均压腔室及下均压腔室，所述的二个透光石英板之间形成制程腔室，供放置热处理目标对象；载台，设置于所述的制程腔室中，用以载置所述的热处理目标对象；多数个具辐射穿透性的管材，分别设置于所述的上均压腔室及所述的下均压腔室；多数个加热组件，对应设置于所述的多数个管材的内部，通过所述的管材对所述的热处理目标对象进行热处理；其特征在于，所述的壁体或所述的二个透光石英板具有连通所述的制程腔室及所述的上均压腔室的上通道以及连通所述的制程腔室及所述的下均压腔室的下通道。