[实用新型]一种超精密测量平台

摘要

本实用新型公开了一种超精密测量平台，包括机架组件、锁死螺母、地脚调节螺钉、支架、电位器式传感器、磁悬浮组件、花岗岩平台、X轴气浮导轨组件、第一立柱、第二立柱、横梁、Y轴气浮导轨组件、高精度传感器、磁吸装置、调节杆、测微仪和中央处理器，其中，所述地脚调节螺钉设置在所述机架组件底部，所述锁死螺母设置在地脚调节螺钉上且靠近机架组件底部；本实用新型第二立柱底部的气浮块直接和花岗岩平台接触，并且采用黄铜塞红宝石节流，气浮面设置均压卸荷槽，有效防止气震的发生，较易实现高精度运动和测量。

主权项

一种超精密测量平台，其特征在于，包括机架组件、锁死螺母、地脚调节螺钉、支架、电位器式传感器、磁悬浮组件、花岗岩平台、X轴气浮导轨组件、第一立柱、第二立柱、横梁、Y轴气浮导轨组件、高精度传感器、磁吸装置、调节杆、测微仪和中央处理器，其中，所述地脚调节螺钉设置在所述机架组件底部，所述锁死螺母设置在地脚调节螺钉上且靠近机架组件底部；所述电位器式传感器设置在所述支架上，所述支架设置在机架组件上；所述花岗岩平台位于机架组件上方，所述磁悬浮组件设置在机架组件和花岗岩平台之间且与两者相连接；所述X轴气浮导轨组件设置在花岗岩平台的上表面；所述第一立柱通过所述横梁与所述第二立柱相连接，所述第一立柱底部设置在X轴气浮导轨组件上，所述第二立柱底部位于花岗岩平台的上表面；所述Y轴气浮导轨组件设置在所述横梁上，所述高精度传感器设置在Y轴气浮导轨组件底部；所述磁吸装置设置在X轴气浮导轨组件上，所述测微仪通过所述调节杆与磁吸装置相连接；所述中央处理器设置在机架组件内；所述支架设有三个，分别设置在所述机架组件侧面四个竖棱中的任意三个竖棱上，所述电位器式传感器设有三个，相应设置在所述三个支架顶部；所述电位器式传感器位于所述花岗岩平台下表面的下方，且位于花岗岩平台下表面的边角处；所述磁悬浮组件包括四组强力电磁铁，每组强力电磁铁包括上强力电磁铁和下强力电磁铁，所述上强力电磁铁分布在所述花岗岩平台下表面的四角，所述下强力电磁铁分布在所述机架组件上表面的四角，且与上强力电磁铁相对应设置；所述上强力电磁铁外套有通电线圈，线圈通电后，上强力电磁铁和下强力电磁铁具有相同极性；所述X轴气浮导轨组件包括花岗岩基座、X轴气浮滑块、过渡板、同步齿轮带轮和伺服电机，其中，所述花岗岩基座固定在所述花岗岩平台上表面，所述X轴气浮滑块骑滑在花岗岩基座上，所述过渡板设置在X轴气浮滑块顶部，所述同步齿轮带轮固定在花岗岩基座上，所述伺服电机设置在X轴气浮滑块的侧面，且伺服电机的转动轴上设有齿轮，所述齿轮与同步齿轮带轮相连接；所述第一立柱的底部和磁吸装置都设置在所述X轴气浮导轨组件的过渡板上；所述第二立柱的底部设有气浮块，所述气浮块的下表面设有小孔，所述气浮块的下表面与所述花岗岩平台上表面相接触；所述X轴气浮滑块、第一立柱、横梁、第二立柱和气浮块相互通气；所述Y轴气浮导轨组件包括Y轴气浮滑块，所述Y轴气浮滑块骑滑在所述横梁上，所述高精度传感器设置在所述Y轴气浮滑块底部；所述中央处理器分别与所述电位器式传感器、磁悬浮组件、伺服电机、测微仪和高精度传感器相连接。