[实用新型]干版曝光装置有效
| 申请号： | 201720293206.7 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN207067659U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;黄国勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙)44320 | 代理人： | 肖伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种干版曝光装置，所述干版曝光装置包括用于放置干版的载料台、用于产生激光以照射放置在载料台上的干版的激光头以及设置于激光头与载料台之间用于对激光头所发出的激光进行滤光处理的滤光片。本实用新型实施例通过滤光片对激光头所发射的激光进行部分能量的吸收，使得激光头所发射的激光的能量适用于干版，能有效的提高干版曝光的速率和精度，从而提高干版的曝光效率，降低加工成本；另一方面，通过改变滤光片的规格大小，可以根据实际需要选择不同波长的滤光片，从而达到过滤部分波长的激光和降低能量的效果，使得激光头所发射的激光适用于曝光不同的干版。 | ||
| 搜索关键词： | 干版 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种干版曝光装置，其特征在于：所述干版曝光装置包括用于放置干版的载料台、用于产生激光以照射放置在载料台上的干版的激光头以及设置于激光头与载料台之间用于对激光头所发出的激光进行滤光处理以吸收所述激光部分能量的滤光片。
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