[实用新型]一种化学气相沉积系统

摘要

本实用新型提供了一种化学气相沉积系统，包括化学沉积室；化学沉积室包括反应腔体；设置于化学沉积室外的高温加热装置；与化学沉积室相连通的气体供给系统；气体供给系统包括气体源进气管与固体源气体进气管，固体源气体进气管位于气体源进气管的管内；固体源气体进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；气体源进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；与化学沉积室的反应腔体相连通的真空系统。与现有技术相比，本实用新型将固体源气体进气管与固体源气体进气管分开，使固体源气体完全不受气体源气体的影响，使两种源无交叉污染生长；通过将固体源移到固体加热装置里，使其不受高温辐射的影响，实现对固体源蒸发速率的控制。

主权项

一种化学气相沉积系统，其特征在于，包括：化学沉积室；所述化学沉积室包括反应腔体；设置于化学沉积室外的高温加热装置；与化学沉积室相连通的气体供给系统；所述气体供给系统包括气体源进气管与固体源气体进气管，所述固体源气体进气管位于气体源进气管的管内；所述固体源气体进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；所述气体源进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；与化学沉积室的反应腔体相连通的真空系统。