[实用新型]高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备有效
| 申请号： | 201720309710.1 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN206858694U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 李占成;伍俊;史浩飞;李昕;黄德萍;段银武;张永娜;余杰 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/02;C23C16/54;C23C16/26 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 刘文娟 |
| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种减小重力作用对石墨烯成型质量影响的高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备。该石墨烯连续生长设备，包括用于放料冷却腔和收料冷却腔抽真空的真空泵、放料冷却腔、收料冷却腔、过渡腔以及均竖向设置的第一高温工艺腔、第二高温工艺腔；所述第一高温工艺腔的两端和第二高温工艺腔的两端均设置有匀流隔热装置；所述第一高温工艺腔和第二高温工艺腔上均设置有加热器；石墨烯生长基底放料辊上放料石墨烯生长基底依次经过放料冷却区导向辊、第一高温工艺腔、过渡腔、第二高温工艺腔、收料冷却腔导向辊最终卷收到石墨烯基底收料辊上。采用该石墨烯连续生长设备能够减小重力对产品质量的影响，保证石墨烯薄膜最终品质，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 工艺 竖向 布置 石墨 连续 生长 设备 | ||
【主权项】：
高温工艺腔竖向布置的石墨烯连续生长设备，包括放料冷却腔(1)、收料冷却腔(4)以及用于所述放料冷却腔(1)和收料冷却腔(4)抽真空的真空泵(7)；所述放料冷却腔(1)内设置有石墨烯生长基底放料辊(11)和放料冷却区导向辊(12)，所述收料冷却腔(4)内设置有石墨烯基底收料辊(41)以及收料冷却腔导向辊(42)；其特征在于：还包括第一高温工艺腔(2)、第二高温工艺腔(3)以及过渡腔(5)；所述第一高温工艺腔(2)的两端和第二高温工艺腔(3)的两端均设置有匀流隔热装置(9)；所述第一高温工艺腔(2)和第二高温工艺腔(3)上均设置有加热器(10)；所述第一高温工艺腔(2)与第二高温工艺腔(3)均竖向布置；所述第一高温工艺腔(2)一端与放料冷却腔(1)连接且连通，另一端与过渡腔(5)连接且连通，所述第二高温工艺腔(3)一端与过渡腔(5)连接且连通，另一端与收料冷却腔(4)连接且连通；所述过渡腔(5)内第一高温工艺腔(2)以及第二高温工艺腔(3)对应的位置均设置有过渡辊(52)；石墨烯生长基底放料辊(11)上放料石墨烯生长基底(6)依次经过放料冷却区导向辊(12)、第一高温工艺腔(2)、过渡腔(5)中的过渡辊(52)、第二高温工艺腔(3)、收料冷却腔导向辊(42)最终卷收到石墨烯基底收料辊(41)上。
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