[实用新型]一种带有探针保护装置的针测机有效
| 申请号： | 201720314169.3 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN206758407U | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王印玺;江姜;陶源 | 申请（专利权）人： | 安徽超元半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 董泽宇 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市贵池区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种带有探针保护装置的针测机，包括测试机、连接电路板、弹簧针塔式连接器、机械臂、探针卡、光学影像系统、待测晶圆、承载托盘和针测机；所述探针卡包括探针卡底板和探针,其特征在于通过红外感应器监控针测机光学影像系统到探针卡底板距离，当针测机光学影像系统距离探针卡底板高度小于等于在针测机上设定的安全高度时触发报警并停止，红外感应监控报警装置信号连接于针测机现有的前门打开后报警装置实现报警功能，从而保护了探针，节约了半导体芯片的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 探针 保护装置 针测机 | ||
【主权项】：
一种带有探针保护装置的针测机，包括测试机（1）、连接电路板（2）、弹簧针塔式连接器（3）、机械臂（9）、探针卡（4）、光学影像系统（10）、待测晶圆（6）、承载托盘（7）和针测机（8）；所述探针卡（4）包括探针卡底板（11）和探针（5）,其特征在于：在所述针测机光学影像系统（10）旁边安装有一个红外感应器（12），所述红外感应器（12）的监控报警装置信号通过信号传感器（13）、电磁继电器（14）、信号放大器（15）组成的电路进行放大和传递，并与针测机现有的前门打开后报警装置相连接实现报警功能，所述针测机（8）上设置有安全距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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