[实用新型]数控抛光盘有效
申请号: | 201720324537.2 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN206748253U | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 钟波;陈贤华;文中江;王健;许乔;廖德锋;金会良 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24D13/18 | 分类号: | B24D13/18 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 吴开磊 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供一种数控抛光盘,涉及光学技术领域。数控抛光盘包括自上而下依次设置的金属盘架、金属盘面、柔性层和抛光模层,金属盘面、柔性层和抛光模层的中心位于同一直线。金属盘面和抛光模层紧贴柔性层设置,金属盘架可拆卸连接于金属盘面,数控抛光盘通过金属盘架连接于抛光机构。金属盘面开设有盘面开设有导流槽,导流槽的底部开设有贯穿柔性层和抛光模层的导流孔,使流动于金属盘面的抛光液通过导流槽和导流孔到达抛光模层的底部。如此,可以保证数控抛光盘盘底的抛光液有效地更新,可提高材料去除稳定性和数控抛光的确定性。 | ||
搜索关键词: | 数控 抛光 | ||
【主权项】:
一种数控抛光盘,其特征在于,包括自上而下依次设置的金属盘架、金属盘面、柔性层和抛光模层,所述金属盘面、柔性层和抛光模层的中心位于同一直线,所述金属盘面和抛光模层紧贴所述柔性层设置,所述金属盘架可拆卸连接于所述金属盘面,所述数控抛光盘通过所述金属盘架连接于抛光机构;所述金属盘面开设有导流槽,所述导流槽的底部开设有导流孔,所述导流孔贯穿所述柔性层和抛光模层,使流动于金属盘面的抛光液通过所述导流槽和导流孔到达所述抛光模层的底部。
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