[实用新型]一种太赫兹连续波快速精准扫描系统有效

专利信息
申请号: 201720329859.6 申请日: 2017-03-31
公开(公告)号: CN206740641U 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: 常天英;王忠民;张延波;崔洪亮;杨传法 申请(专利权)人: 山东省科学院自动化研究所
主分类号: G01N21/3581 分类号: G01N21/3581
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司37221 代理人: 黄海丽
地址: 250014 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种太赫兹连续波快速精准扫描系统,系统包括X轴电机、Y轴电机、X轴光栅尺及Y轴光栅尺,X轴电机和Y轴电机通过X轴传动结构和Y轴传动结构带动X轴和Y轴转动;驱动电机运动的驱动器接收FPGA控制主板发送的脉冲信号,该脉冲信号来自FPGA内部锁相环输出的高速倍频时钟;X轴光栅尺通过时钟发生器与FPGA控制主板连接,FPGA控制主板通过X轴光栅尺及Y轴光栅尺实现扫描过程中的精确定位;上位机接收FPGA控制主板采集的数据实现灰度成像。采用光栅尺传感器输出的方波信号作为数据采集的基准时钟,避免了扫描过程中机械结构误差、电机速度不稳定、电机变速给扫描精度造成的影响,提高了扫描速度和精度。
搜索关键词: 一种 赫兹 连续 快速 精准 扫描 系统
【主权项】:
一种太赫兹连续波快速精准扫描系统,其特征是,包括X轴电机、Y轴电机、X轴光栅尺及Y轴光栅尺,X轴电机和Y轴电机分别通过X轴传动结构和Y轴传动结构带动X轴和Y轴转动;驱动所述X轴电机和Y轴电机运动的驱动器接收FPGA控制主板的电机控制模块发送的脉冲信号,该脉冲信号来自FPGA内部锁相环输出的高速倍频时钟;X轴光栅尺通过时钟发生器与所述FPGA控制主板连接,所述FPGA控制主板通过X轴光栅尺及Y轴光栅尺实现扫描过程中的精确定位;上位机接收所述FPGA控制主板的数据采集模块采集的数据实现灰度成像。
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