[实用新型]一种基板蒸镀载具及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201720331093.5 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206887218U | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 申永奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板蒸镀载具及蒸镀设备。其中，基板蒸镀载具包括具有多个工作面的工作台，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板的固定结构；用于驱动所述工作台旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构，所述蒸镀装置用于对其朝向的工作面上固定的待蒸镀基板进行蒸镀。在实用新型的方案中，工作台通过多个固定结构可以设置多个待蒸镀基板，通过旋转工作台的方式使蒸镀设备分别对每个工作面上的待蒸镀基板进行蒸镀，在所有待蒸镀基板完成蒸镀后，可以一次大批量的更换待蒸镀基板，从而有效降低了待蒸镀基板的更换频率，进而提高了蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板蒸镀载具 设备 | ||
【主权项】：
一种基板蒸镀载具，其特在于，包括：具有多个工作面的工作台，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板的固定结构；用于驱动所述工作台旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构，所述蒸镀装置用于对其朝向的工作面上固定的待蒸镀基板进行蒸镀。
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