[实用新型]一种降低LCD低盒厚产品不良率的双旋转阴极镀膜系统有效
| 申请号： | 201720334619.5 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN207193383U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 马晓亮 | 申请（专利权）人： | 江门亿都半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 529000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种降低LCD低盒厚产品不良率的双旋转阴极镀膜系统，通过在磁钢外设置有围绕其不断转动的环形靶柱，因此在溅射时不会在靶的某个固定位置产生刻蚀，能均匀利用靶柱，避免由于不规则刻蚀所造成的峰值放电而让膜层出现打弧坑的现象，有效降低LCD低盒厚产品的不良率；另外，由于在溅射过程中会产生高温，本实用新型通过在环形靶柱中的注水腔注入来自水循环装置的循环水，能不断为环形靶柱降温，提高系统的稳定性和耐用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 lcd 低盒厚 产品 不良 旋转 阴极 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
一种降低LCD低盒厚产品不良率的双旋转阴极镀膜系统，其特征在于：包括溅射腔，所述溅射腔内设置有承载待镀膜LCD玻璃的载板(1)和两套旋转溅射装置(2)，所述旋转溅射装置(2)包括环形靶柱(21)和带动环形靶柱(21)旋转的传动装置，所述环形靶柱(21)内固定有两个以上的磁钢(22)，相邻磁钢(22)面向环形靶柱(21)的极性相反，所述环形靶柱(21)内还设置有端部固定块(23)，所述磁钢(22)固定于端部固定块(23)中，所述端部固定块(23)与环形靶柱(21)之间设置有轴承，所述环形靶柱(21)围绕磁钢(22)转动，所述端部固定块(23)与环形靶柱(21)之间构成一密闭的注水腔(24)，还包括一水循环装置(3)，所述注水腔(24)通过水循环管道与水循环装置(3)连接。
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