[实用新型]光学监控系统多片式膜厚修正装置有效
| 申请号： | 201720334791.0 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206706201U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;郑燕飞;邓琪 | 申请（专利权）人： | 王静辉;郑燕飞;邓琪 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市平*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多片式膜厚修正装置。该光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架、膜厚修正板和基板。本实用新型所涉及的光学监控系统多片式膜厚修正装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化，使用两片不同形状的膜厚修正板进行切换，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此多片式膜厚修正装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2‑3倍此外，该光学监控系统多片式膜厚修正装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 监控 系统 多片式膜厚 修正 装置 | ||
【主权项】：
光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架（1）、膜厚修正板（2）和基板（5），其特征在于：所述膜厚修正板（2）通过螺钉（3）和定位销钉（4）固定在膜厚修正板支架（1）上，所述膜厚修正板（2）的个数为8个，所述膜厚修正板（2）均匀分布在膜厚修正板支架（1）上，所述基板（5）的直径大于膜厚修正板支架（1）的直径。
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