[实用新型]具有预错位栅孔离子引出栅极板的离子源

摘要

现有的离子源离子引出系统，如射频源中的屏极、加速极、抑制极三层栅孔板，沿轴向间隔排列，栅孔板通常做成凸曲面形状以获得希望的空间扩散形离子束流，通常几层栅孔板上的开孔位置是相同和均布的，不同栅孔板上开的孔一一对应，当栅孔板沿轴向分开放置后，外层栅网的栅孔远离轴线的一侧易被离子束流蚀刻。本实用新型的方案为，靠外侧的栅孔板，栅孔位置比内侧栅板的对应栅孔位置略远离轴线，形成沿着栅板径向逐渐离散的开孔分布。本实用新型的有益之处是，通过合理的栅孔分布设计，使外层栅板上的栅孔相对内层栅板上的栅孔具有预错位，减少外层栅孔被离子流蚀刻变形，延长栅板的使用寿命，节约成本，使用这种具有预错位栅孔离子引出栅极板的离子源可以长期以稳定的工况工作，输出的空间扩散形离子束流不因栅孔板使用寿命的变化而改变束流截面能量分布。

主权项

具有栅孔板离子引出系统的离子源，其特征在于采用了具有内外侧栅孔板对应孔开孔位置预错位的凸曲面栅孔板组，这种预错位栅孔板组中，外侧栅孔板与内侧栅孔板上的开孔一一对应，但相对应孔在外侧栅孔板上的开孔位置比在内侧栅孔板上的开孔位置略远离轴线。